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| 機械式真空助力幫浦，有相當廣的壓力使用範圍，大約從10-3~40Torr之間，依不同使用條件與液封式真空幫浦或油迴轉真空幫浦作為組合，可將工作範圍延伸至中、高真空範圍，並能大量增加排氣速度，整個排氣系統配合真空計、真空開關、氣動式真空閥及其他控制元件可自動化控制，操作簡單，不必考慮機械式助力幫浦的啟動時機及操作方法。 |
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真空排氣系統用途
| • 真空蒸餾 |
• 真空脫氣 |
• 真空脫水 |
• 真空乾燥 |
• 真空脫臭 |
| • 真空冷卻 |
• 真空濃縮 |
• 真空含浸 |
• 真空冶金 |
• 真空鑄造 |
| • 真空蒸著 |
• 真空燒結 |
• 真空絕熱 |
• 真空結晶 |
• 光學工業 |
| • 真空充填 |
• 溶劑回收 |
• 真空滅菌 |
• 真空包裝 |
• 真空熱處理 |
| • 低溫工業 |
• 真空發泡 |
• 真空研究實驗 |
• 真空凍結乾燥 |
• 多目的減壓源 |
| • 含水氣、固體微粒及腐蝕性氣體之濕式製程真空抽氣 |
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| 規格表 |
| *( )內的壓力是加上大氣助力器後的最終壓力。 |
型 式
Model |
排氣速度
Capacity
m³/h
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最終壓力
Ultimate
Press.Torr
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後 段 幫 浦
Backing Pumps
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總 馬 力
Total Power
HP
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口 徑 mm(in) |
Inlet |
Outlet |
SMB65 |
300 |
2(0.2) |
SWV-5D |
2 + 5 |
65 (2.5) |
50(2) |
0.2 |
SOV-5DW |
2+5 |
50(2) |
SMB80 |
500 |
2(0.2) |
SWV-7D |
3 + 7.5 |
|
50(2) |
0.2 |
SOV-5DW |
3+5 |
50(2) |
SMB100 |
700 |
2(0.2) |
SWV-10D |
5 + 10 |
|
50(2) |
0.2 |
SOV-5DW |
5+5 |
50(2) |
0.1(0.01) |
SMB65+SWV-5D |
5+3+5 |
50(2) |
SMB125A |
1000 |
2(0.2) |
SWV-15 |
7.5 + 15 |
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50(2) |
0.2 |
SOV-7DW |
7.5+15 |
50(2) |
0.1(0.01) |
SMB80+SWV-7D |
7.5+3+7.5 |
50(2) |
SMB125 |
1500 |
2(0.2) |
SWV-20 |
10 + 20 |
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50(2) |
0.2 |
SOV-10DW |
7.5+10 |
50(2) |
0.1(0.01) |
SMB100+SWV-15 |
7.5+5+15 |
50(2) |
SMB150 |
2000 |
2(0.2) |
SWV-700 |
15 + 40 |
|
80(3) |
0.2 |
SOV-20DW |
10+20 |
50(2) |
0.1(0.01) |
SMB125A+SWV-20 |
10+7.5+20 |
50(2) |
SMB200A |
3200 |
0.1(0.01) |
SMB125A+SWV-600 |
15+7.5+30 |
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80(3) |
0.2 |
SOV-700W |
15+40 |
80(3) |
SMB200 |
4100 |
0.1(0.01) |
SMB125A+SWV-700 |
22+10+40 |
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80(3) |
0.2 |
SOV-900W |
20+40 |
100(4) |
SMB250 |
5400 |
0.1(0.01) |
SMB150+SWV-900 |
25+10+40 |
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100(4) |
0.2 |
SOV-900W |
20+50 |
100(4) |
SMB300A |
7500 |
0.2 |
SOV-1300W |
30+50 |
300(12) |
100(4) |
SMB300 |
9000 |
0.2 |
SOV-1300W |
30+60 |
300(12) |
100(4) |
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